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车仪田公司用不到4个月时间完成了厂区从拆建筑设到设备搬入具备初步产能的一系列动做。高精度温度测控、气体浓度阐发及实空阀门等焦点手艺。上海车仪田成立于2022年6月，新工场占地面积近10000平方米据悉，产物将使用于半导体实空设备、炉管设备、厂务控温等场景。做为北京亦庄引入的环节企业，据悉，半导体工艺正在线测控处理方案供给商上海车仪田科技无限公司（以下简称“车仪田”），该公司产物累计出货量近5000台。1月16日，正在北京亦庄正式启用新工场。截至2025年，
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